OTL-PECVD-1200 PECVD mfumo-Mtoa wa kimataifa

Chumba cha 401, jengo la 2, namba 1 ya barabara ya Kechuang, mitaani ya Yaohua, Nanjing, mkoa wa Jiangsu

OTL-PECVD-1200PECVD mfumo, inajumuisha OTL1200 utupu bomba tanuru, quartz utupu chumba, RF nguvu, GX mfumo wa usambazaji wa gesi, mfumo wa kupumpa gesi, mfumo wa kupima utupu.

Sifa kuu:

1, kupitia nguvu ya RF kubadilisha gesi ndani ya chumba cha utupu cha quartz katika hali ya ion.

PECVD ina joto la chini kuliko CVD ya kawaida inayohitajika kwa kuweka gesi ya kemikali.

3, inaweza kudhibiti ukubwa wa shinikizo la filamu iliyowekwa kupitia mzunguko wa nguvu ya RF.

4, PECVD kuliko kawaida CVD kwa kiwango cha juu cha kemikali gesi deposition, usawa mzuri, uthabiti na utulivu wa juu.

5, inatumika sana katika: ukuaji wa filamu mbalimbali, kama vile: SiOx, SiNx, SiOxNy na silicon amorphous (a-Si: H) nk.

OTL-PECVD-1200 PECVD mfumo kwa Swedish Kanthal upinzani waya kama kipengele cha joto, kutumia miundo ya safu mbili ya nyumba na vipimo vya kudhibiti joto ya kipengele cha programu 30, kuchochea hatua, kudhibiti silicon, vifaa vya fiber polycrystalline ya alumini, vifaa vya chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma

(1) Joto la juu la uso inaweza kufikia 1420 ℃

(2), uso ni rangi ya chuma cha pua (mwanga sana, kutambua wateja kwa tahadhari), haitakuwa na kutua, matumizi ya muda mrefu haitakuwa na taka.

(3), usawa wa upinzani, usawa mzuri wa joto

(4), joto vipengele: Sweden Kanthal A1 uagizaji upinzani waya (upinzani waya inaweza ahadi dhamana ya miaka miwili)

Wakati mzunguko umevuka au umevuka, kufungua tupu itafungwa moja kwa moja

Kitanda hiki kina mawasiliano interface na programu, inaweza moja kwa moja kudhibiti vipimo mbalimbali vya kitanda kupitia kompyuta, na inaweza kuchunguza kutoka kompyuta kwa thamani ya joto ya PV na SV kwenye kitanda na utendaji wa vifaa, kompyuta ya halisi ya joto la kitanda itachukuliwa kwa muda halisi, na inaweza kuhifadhi data ya joto ya kila wakati, wakati wowote unaweza kuchukua utupu.

(1), ubora wa juu usafi wa alumini polycrystalline fiber kuunda utupu.

(2) Kutumia teknolojia ya Kijapani.

(3), nafasi ya waya ya upinzani katika jikoni na nafasi ya kuokoa zote zilipangwa kulingana na teknolojia bora ya joto ya Japan, kupitia programu ya joto ya joto ya simulation ya uwanja wa joto

(4), kutumia joto la wiki 4, joto la uwanja ni usawa zaidi

(Vifaa vyote vya umeme vya kuagiza vyeti vya UL)