OTL-PECVD-1200-1400-1200 tatu joto eneo PECVD mfumo, inajumuisha tatu sliding rod utupu bomba tanuru, quartz utupu chumba, RF nguvu, GX usambazaji wa gesi mfumo, pumping mfumo, utupu kipimo mfumo, umeme drag mashine.

Sifa kuu:

1, kupitia nguvu ya RF kubadilisha gesi ndani ya chumba cha utupu cha quartz katika hali ya ion.

PECVD inahitajika joto la chini kuliko CVD ya kawaida kwa ajili ya kuweka gesi ya kemikali

3, inaweza kudhibiti ukubwa wa shinikizo la filamu iliyowekwa kupitia mzunguko wa nguvu ya RF

4, PECVD kuliko kawaida CVD kwa kiwango cha juu cha kemikali gesi deposition, usawa mzuri, uthabiti na utulivu wa juu.

5, inatumika sana katika: ukuaji wa filamu mbalimbali, kama vile: SiOx, SiNx, SiOxNy na silicon amorphous (a-Si: H) nk.

Mfumo huu wa PECVD wa eneo la joto la tatu ni mfumo wa PECVD ambao unaweza kuongeza joto haraka na kubaribisha, na ni jozi moja ya slider za umeme zilizowekwa kwenye tanuru tatu za bomba, na inapatikana mfumo wa slider za umeme. Kiwango cha joto na baridi inaweza kufikia 100 ° C / dakika. Ili kupata joto la haraka, unaweza mapema joto tanuru kwa joto kuweka, kisha kuhamisha tanuru kwa sampulikuweka. Ili kupata baridi ya haraka, inaweza kuhamishwa kituo kwa mwisho mwingine baada ya sampuli ya joto. Kiwango cha joto na baridi kinaweza kufikiwa katika mazingira ya utupu au gesi isiyo na nguvu10 ° C / s, ni gharama ya chini ya haraka joto, baridi mbili joto eneo PECVD mfumo.

Mfumo huu wa joto la eneo la tatu la PECVD unatumia waya wa upinzani wa Kanthal wa Sweden na kaboni ya silicon kama vipengele vya joto, unatumia muundo wa nguo mbili na vifaa 30 vya programu za kudhibiti joto, kuchochea hatua, kudhibiti silicon, vifaa vya fiber ya polycrystalline ya alumini ya Japani, vifaa vya chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chuma cha chumaNa shinikizo mita, kupumpa utupu wakati utupu kiwango inaweza kufikia 10-3 Pa, kugawanywa katika maeneo mawili ya joto, maeneo mawili ya joto inaweza kudhibiti kujitegemea, kuweka joto tofauti, rahisi kutumia, rahisi ya uendeshaji, tanuru ina usawa wa joto, joto la chini la uso, kiwango cha joto cha haraka, kuokoa nishati na manufaa mengine, ni vyuo vikuu, taasisi za utafiti wa sayansi, makampuni ya madini ya viwanda kufanya joto hali ya hewa moto Vifungo, ukuaji wa graphene, ukuaji wa bidhaa bora kwa ajili ya filamu mbalimbali.

(1), unyenyekevu wa mwisho wa kaboni ya silikoni d ni 14mm, 12MM iliyotumiwa na wazalishaji wa kawaida, unyenyekevu wa mwisho wa joto, si rahisi kugeuka, mzigo wa chini wa uso wa fimbo, maisha mrefu ya huduma.

（2), m baridi mwisho urefu ni 210mm, wazalishaji wa kawaida kutumika 180mm, baridi mwisho mrefu jiko joto chini.

(3), silicon kaboni bar uso oksidi noncrystalline film dense, inaweza kulinganisha vizuri kulinda kaboni bar.

Wakati mzunguko umevuka au umevuka, kufungua tupu itafungwa moja kwa moja

hali ya hewa bomba ovenUnawezaPamoja na mawasiliano interface na programu, inaweza moja kwa moja kudhibiti vipimo mbalimbali ya tanuru kupitia kompyuta, na inaweza kuchunguza kutoka kompyuta kwa thamani ya joto ya PV na SV juu ya tanuru na vifaa vya uendeshaji, halisi joto curve ya tanuru kompyuta itakuwa kuchora wakati halisi, na inaweza kuokoa data ya joto ya kila wakati, wakati wowote unaweza kuitwa nje

(1), ubora wa juu usafi wa alumini polycrystalline fiber kuunda utupu.
(2) Kutumia teknolojia ya Kijapani.
(3), vifaa vya oven joto uwezo wa chini, joto conductivity kiwango cha chini, hivyo joto chini, insulation nzuri, reflection kiwango cha juu. usawa wa joto.
(4), waya wa oksidi ya alumini ya oven nyembamba na ndefu, joto la juu, uwezo wa kupambana na kuongezeka kwa joto na baridi
(5), uso wa oven ni safi, si rahisi kuondoka poda.

(Vifaa vyote vya umeme vya kuagiza vyeti vya UL)