Matokeo ya Aprili 15, 2016, kampuni ya Hitachi ya teknolojia ya juu ilizingatia aina mpya ya microscope ya elektroniki ya skanning - FlexSEM 1000. bidhaa ya muundo compact, kuchukua eneo ndogo, lakini azimio si kupoteza electroscope kubwa, wakati huo huo uendeshaji ni rahisi sana, karibu bila mafunzo inaweza kuendeshwa. Kubuni compact na azimio la 4 nm.
Scanning electron microscope inaweza kufanya uchunguzi wa juu wa vifaa vya uso na uchambuzi wa hali ya juu, na ina matumizi makubwa katika maeneo kama vile nanoteknolojia, sayansi ya maisha, bidhaa kubuni utafiti na maendeleo na uchambuzi wa kushindwa. Katika miaka ya hivi karibuni, mahitaji ya kuongezeka kwa ajili ya muundo wa uso na uchambuzi wa vipengele vya scanning electroscopes, wakati watumiaji zaidi na zaidi wanataka kutumia scanning electronics microscopes katika nafasi ndogo kama vile mstari wa uzalishaji, mstari wa ukaguzi wa usalama wa ubora na maeneo ya ofisi. Kwa hiyo, ukubwa mdogo, urahisi wa uendeshaji, na azimio la juu la scanning electron microscope ni muhimu sana. FlexSEM 1000 mwenyeji 450mm upana, urefu 640mm, 52% kupunguza kiasi ikilinganishwa na SU1510 mfano, 45% kupunguza uzito, 50% kupunguza matumizi ya nguvu, na vifaa vya kiwango cha umeme interface. Host na kitengo cha umeme inaweza kutengwa, ufungaji ni rahisi sana.
FlexSEM 1000 inatumia mifumo ya macho ya elektroniki iliyoundwa hivi karibuni na uchambuzi wa kuaminika na unyevu wa juu na azimio la hadi 4nm. FlexSEM 1000 ina vipengele vingi vya automatisering ambavyo hufanya kazi rahisi hata kwa waendeshaji wa kwanza. Aidha, kipengele kipya cha urambazaji cha "SEM MAP" kinaweza kurambazaji kwa kutumia picha mbalimbali za optical au picha za electroscope, na kubadili kwa haraka na usahihi kwa bonyezo moja kwa maono ya viwango vya juu.

Makala:

a. Kupitia high nyeti ya pili elektroniki detector, nyuma kusawanyika detector, chini utupu detector (UVD)^*2), kufikia ubora wa picha uchunguzi chini ya voltage ya kasi ya chini / utupu wa chini

b. Uendeshaji rahisi, hata mpya wanaweza kuchukua picha ya ubora wa juu

c. Kazi mpya ya urambazaji "SEM MAP" kwa urahisi wa kufunga haraka maono

Madirisha makubwa (30 mm)²SDD Energy Spectrum System kwa ajili ya uchambuzi wa haraka ya vipengele viungo^*2

*1 Kutenganisha mwenyeji na Power Box wakati kuweka kwenye Desktop

*2 Chaguo

Mradi		Maudhui
Kuvunja Nguvu*3		4.0 nm @ 20 kV (SE: hali ya utupu wa juu) 15.0 nm @ 1 kV (SE: hali ya utupu wa juu) 5.0 nm @ 20 kV (BSE: hali ya chini ya utupu)
kasi ya voltage		0.3 kV ～ 20 kV
Kuongeza kiwango		6× ~ 300,000× (ukubwa wa filamu) 16× ~ 800,000× (kuonyesha kiwango cha ukubwa)
Low utupu mode		Utufu mbalimbali: 6 ~ 100 Pa
Silaha za elektroniki		Pre-Pair Tungsten Mwanga waya
Mfano wa Benki		3-axis moja kwa moja motor meza X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
Ukubwa wa sampuli		kipenyo 80 mm
Max sampuli urefu		40 mm
Ukubwa		Mwenyekiti: 450 (W) x 640 (D) x 670 (H) mm Kitengo cha nguvu: 450 (W) x 640 (D) x 450 (H) mm
Uchaguzi wa Detector		High nyeti chini utupu pili elektroniki detector (UVD) Chunguzi cha nishati ya X-ray (EDS)